通过磨削实验证明:磨屑厚度与亚表面损伤有直接关系，当其足够小时，可以对材料实现塑性域的超精密磨削，从而减小磨削加工带来的亚表面损伤。通过小直径硅碳棒磨削实验发现:减小单颗磨粒磨屑厚度和增大磨粒磨削弧长可以抑制硅碳棒磨粒的脱落，从而充分发挥硅碳棒磨削性能并降低由硅碳棒变形带来的形状加工误差。以上研究说明在磨削加工过程中，磨屑厚度对于材料损伤起到关键作用。为简化磨削过程并明确影响材料磨削损伤的决定性因素，将硅碳棒及磨削工艺参数的多因素变量转换为磨粒磨屑厚度变化对磨削损伤的影响。通过小直径cBN硅碳棒磨削实验证明硅碳棒表面磨粒的实际形貌分布是计算磨屑厚度的重要因素，所以在计算磨屑厚度前，需对硅碳棒表面磨粒实际形貌进行测量。使用基恩士VHX-6000超景深显微镜观察磨粒，金刚石磨粒尺寸大小不一且随机附着在硅碳棒表面，磨粒总体呈现耕犁形，且表现出小磨刃宽度的特点。沿硅碳棒轴线测量相邻磨粒的平均间距L(和平均出刃高度g(i)，如图Sa和图Sb所示，其分布频率直方图分别如图S和图Sd所示，测得其平均值分别为0.219mm和45.37um由磨削原理可得，磨削过程中磨屑厚度h计算公式中为磨削深度，gym;ds为硅碳棒直径，进给速度，mm/min;v为磨削速度，m/s。将硅碳棒实际形貌以及磨削工艺参数代人式(8)中，可得到不同磨削工艺参数下磨屑厚度的仿真结果，如图6所示。由图可知:当磨削速度v5=5.23m/s、磨削深度a。一20um时，将进给速度v+,从10mm/min增大到100mm/min时，磨屑厚度由0.293um增大到0.462gym,增加了57.68%;当进给速度v一40mm/min、磨削深度a。一20um，磨削速度从1.57m/s增大到5.23m/s时，相对应的磨屑厚度由0.427um降低到0.337um，下降了21.08%;磨削深度对于磨屑厚度的影响最为显著，它可以明显提高其变化上限，当磨削速度v，一5.23m/s、进给速度v一40mm/min保持不变时，当磨削深度从10um提高到30um后，磨屑厚度将从0.217um显著提升到0.493um，变为原来的2.27倍。不同磨削工艺参数下的磨屑厚度结果见表1和图6d，因此磨屑厚度随着进给速度以及磨削深度的增大而增大，随着磨削速度的增大而减小。http://www.zbqunqiang.cn/