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2026-11-13 内、中、外环上硅碳棒的电流强度误差分别
针对24对棒还原炉结构,建立3D西门子还原炉模型,由于西门子还原炉结构的对称性,同心圆上每根硅碳棒的热电行为类似,用硅碳棒1,硅碳棒9和硅碳棒25分别代表内、中和外环硅碳棒。
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2026-11-10 单相硅碳棒负载的电压U和电流I变化
根据实际情况,18对硅碳棒还原炉的多晶硅收率(对进料SiHCI.j)基本在10%左右,按多晶硅恒定生长速率的进料曲线FTC.s-23.109"Do氢气摩尔配比按4.0计。
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2026-11-08 减少硅碳棒底部热损失和使反应物充分反应
而内部的气体还停留在硅碳棒附近,导致硅沉积不均匀。而装有内接管的炉体下段横截面的温度分布更为均匀,这是因为内接管对炉内气体有分散排出的作用,因此未产生局部温差过大的现象。
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2026-11-02 硅碳棒直径在线自动检测系统
针对传统多晶硅还原炉硅碳棒生长检测依赖人工观察与经验估计所存在的误差大、稳定性差等问题,本文开发了一套硅碳棒直径在线自动检测系统,有效解决了上述弊端,为多晶硅生产过程的精准控制提供了数据支撑与技术参考。
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2026-10-27 硅碳棒上表面的平均照度以及均匀度影响
在系统实际检侧硅碳棒的过程中,硅碳棒规格会发生改变,同时,因为补光效果直接会影响到成像质量,从而导致系统检测效果。因此对于补光的方法及效果较为重要,对于硅碳棒补光均匀度。
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2026-10-25 配合PLC控制器完成硅碳棒瑕疵检测功能
该部分操作步骤涉及到OPCUA服务器端操作和客户端两部分操作,其中服务器端由西门子57-1511PLC创建,硅碳棒瑕疵检测系统作为客户端对服务器端进行访问,通过指定指令实现从PLC控制器中读L/写入相关节点值,以实现触发拍照和系统中的必要信息交互。

