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硅碳棒与实际运行的U-I曲线对比

2026-11-11 12:23:22     点击:

       15为18对硅碳棒多晶硅还原炉实际运行的U-1曲线与计算所得的U-I曲线的对比。

       可见,计算获得的U-I曲线与实际运行的18对硅碳棒多晶硅还原炉U-I曲线在趋势上是一致的,但存在一些不同之处,主要原因是:

       (1)还原炉在最初启动时,为降低初始电压,还原电源系统将6对硅碳棒采用2组并联的方式进行连接,所以在电流较小时,实际运行U-I曲线在“并转串”前存在电压折半的现象。

       (2)在电源系统“并转串”之后,电流低于约1000A前,实际运行的U-I曲线高于计算值,这是因为实际运行中,SiHCI:采用了类似进料曲线C'的进料方式,远远快于计算采用的进料曲线A,QZ和Q:比计算值大所致。

       (3)在电流1000A以后,实际运行的U-I曲线低于计算值,这因为实际运行中后期,为了避免气相分解产生无定型硅,人为将硅碳棒表面温度降低所致。

       (4)计算所得到的U-I曲线,最大值电流值比实际运行的最大电流值要大,主要是因为计算采用的硅碳棒最大直径为160mm,而实际只有140mm。

       根据还原炉热量平衡和多晶硅碳棒电阻随时间的变化特性,计算了18对棒多晶硅还原炉U-I曲线,结果与实际吻合较好,可直接用于18对棒多晶硅还原炉电源系统的设计。硅碳棒温度、炉壁黑度、进料曲线和硅碳棒高度(或单相所串联硅碳棒对数)等对U-I曲线的影响较大。本文分析和计算方法可供其他类型多晶硅还原炉U-I曲线设计时参考。

       本文符号说明:

       U:还原炉单相硅碳棒负载的电压,V;

       I:还原炉单相硅碳棒负载的电流,A;

       R:单相电阻,n;

       T,:硅碳棒表面温度,K;

       T:炉筒内表面温度,K;

       N:还原炉硅碳棒分组数;6:硅碳棒电阻率,S,"mm;L:一对硅碳棒负载总长度,mm;L:单相串联硅碳棒总长度,即61,m;P:还原电源输出总功率,kW;Ql:还原炉辐射散热,kW;Q12:还原炉径向辐射散热,kW;Ql::还原炉顶部辐射散热,kW;QZ:还原炉气相进出因温变引起的烩变,kW;Q:还原炉反应热,kW;Ca,黑体辐射系数,5. 67W/mz·K';Liz,硅碳棒对壁面的总辐射系数W/mz" K;硅碳棒表面黑度;2:还原炉内壁黑度;甲:角系数,包括硅碳棒对径向和部;http://www.zbqunqiang.cn/

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