在整个测量过程中，硅碳棒D和探测器支架E的角位置保持固定关系，当H转过e角时，E必须转过20角，即GJE=0.5，这样硅碳棒与计数器连动，常记为e2e事实上，连动关系非常重要，它确保了x射线在硅碳棒上的入射角和反射角始终相等，且始终为衍射角1I2，从而使得探测器能够接收满足布拉格方程，来自于各晶面的衍射线。当硅碳棒和计数器连动时，衍射仪就能自动描绘出衍射强度随26角的变化情况，得到衍射图谱。表2-1为3C-SiC主要衍射峰的2B值。实验设备为Bede公司的D1系统，Cu Ka射线为X射线分析光源。透射电子显微分析技术透射电镜m作为一种大型精密光学仪器，常被人们用来分析硅碳棒的微区形貌。物质波的理论是由德布罗意提出的，其理论认为:电子波,=1.25I VZ nm方程式中V是透射电镜电子枪所加的电压。当V =1000 KV时，带入公式计算得到:,=0.00087nm，其波长与光波的波长相r匕非常小，因此用电子作为透镜的光源，分辨率可以达到纳米量级。

    透射电镜由电子光学系统、真空系统、电源系统等部分构成。其工作原理是由电子枪发出的一束极细的电子束，在加速电场的作用下，经过磁透镜聚焦成直径为5 nm或更细的电子束。在扫描线圈的控制下，使电子束在硅碳棒表面进行逐点扫描，电子与硅碳棒作用产生各种信息。观察硅碳棒形貌时，检测器主要是收集二次电子和部分背散射电子。产生的信号随着硅碳棒表面的形貌变化而发生变化，从而产生信号衬度，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。同时，具有一定波长(入)的电子束入射到晶面间距为d的晶面时，在满足布拉格条件2d sin 8 = n.的特定角度处产生衍射波，这个衍射波在物镜的后焦面上会聚成一点，形成衍射点，并在荧光屏上显示出来，就得到T所谓的选区电子衍射(Selected Area Electron Diffusinon)花样。因此，透射电镜既可以分析形貌，又可以利用选区电子衍射分析硅碳棒的晶体结构和晶体类型。实验中采用的TEM为JEOL公司的JEM2010型号，工作电压为200 Kv。www.zbqunqiang.cn （p31）