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改进硅碳棒负荷设计

2022-03-16 16:59:58     点击:

    图3为过负荷烧损接线端、局部表面过烧变色的照片。可以看出:硅碳棒过负荷烧损接线端、局部表面过烧变色;故障原因分析:硅碳棒表面过负荷导致,高温生成SiOZ,阻值变大,在炉膛温度超过1 600℃以后,氧化速度加快,硅碳棒的使用寿命变短,表面负荷密度指棒的发热部单位表面积所允许承载的额定功率(表面负荷密度=额定功率(w)/发热部表面积(cmz。负荷密度大则发热体表面温度与炉膛温度之差也大;负荷密度大则棒体表面温度高,电阻增长快,硅碳棒的寿命短。因此,碳化硅板表面温度负荷密度、炉内气氛、温度与硅碳棒老化速度成正比,与硅碳棒的寿命成反比。所以尽量不要让硅碳棒表面温度过高,即有必要缩小炉膛温度与硅碳棒温度之差值,设计要求在50℃以内。

    处置措施:低温小功率无冲击,0200 ℃,控制仪表升温控制采取缓启动及限幅措施,以保证初始电流不太大,缓慢预热升温,避免硅碳棒极从常温急剧升温到红热状态的热冲击,导致断棒,另外,针对前次硅碳棒表面过负荷,导致棒面层在高温下融化现象,特此将高温区升温时间延长近一倍,同时进行控制输出限幅,一区限幅为:60%;二区限幅为:70% ;三区限幅为:70%;进过试验证明,加热电流最大为240 A,保温期电流:一区150 A,二区180 A,三区80 A;原低于以往最大电流270280 A的情况,经改动后试验表明,硅碳棒烧损情况好于以往。www.zbqunqiang.cn


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