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改变硅碳棒炉膛尺寸的方法

2022-03-26 19:23:10     点击:

    打开上盖,把硅碳棒取出,根据需要将合适的活衬放入,即可改变炉膛的直径。一般在高温时用小炉膛。有时需控制气氛,在大盖和底上均有穿刚玉管的孔,当装上刚玉管时,就和普通炉相同了。

    (1 )所设计制造的新电炉实现了炉膛直径的变化,在同一炉子里可以加热不同规格的试样,与购置多台设备比,节省了大量资金和场地。两年多的使用证明,性能比较可靠。

    (2)硅碳棒的支数也可改变,当较大炉膛也需较高温度时,可通过增加硅碳棒的支数来实现。

    (3)新设计的电炉中,冷端是水平放置的,无需专门吊挂,故结构简单,且冷端靠耐火棉压住固定,密封严,热损失少。

    侥酸锉(LN)晶体由于具有优良的压电、声表面波(SAW)特性而被广泛用来制作各种SAW器件,尤其是SAW电视中频滤波器。这类器件的大批量生产要求高效率、低成本,而晶体尺寸的大型化。本文叙述了直径3" [10.4] LN晶体生长工艺的研究结果。针对该晶体尺寸大、易开裂和易发生扭曲的间题,设计了具有“局部温度突变”的温场,有效地避免了由于热应力引起的晶体开裂,以及生产过程中由于液面下降引起界面附近温度梯度减小所造成的组分过冷和晶体扭曲现象。设计了独特的锥型籽晶夹具,从根本上解决了采用传统的籽晶捆绑法在晶体重量增大时易脱落的间题。同时还对加热炉膛使用的硅碳棒进行了选择。分析和讨论了晶体的一些生长缺陷问题,并给出了该晶体的全部压电,SAW性能的测量结果。

    生长大尺寸锐酸铿(LN)晶体,需要加大柑涡尺寸和增加投料量,所需的加热功率也将随之增大,这对用于加热炉膛的发热元件提出了高要求。以往用于生长LN晶体的碳化硅类发热元件,由于其工作温度高,老化快、寿命短,难以满足生长大尺寸LN晶体的要求。针对这一问题,我们将目前国内可批量生产的一种新型发热元件硅碳棒用作生长3 "L N晶体的硅碳棒,取得了满意的结果。本文根据硅碳棒的特性及晶体生长工艺的要求,详细分析讨了硅碳棒硅碳棒与控温装置之间的阻抗匹配和温度控制等同题,得出了实用的温度控制线路。通过实际使用,丧明采用硅铂棒作硅碳棒,具有使用温度高、功率余量大、寿命长、温场稳定,重复性好等优点。与碳化硅类硅碳棒比较,可以节省在硅碳棒上的耗资,降低晶体生产成本,推广使用具有较高的经济价值。www.zbqunqiang.cn


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