硅碳棒经多线线锯线网准备与切割预备、装载硅碳棒、热机、线锯切片、取片等工步后，还需要对制造得到的太阳能级光伏硅片进行清洗，检验和分级。光伏硅片检验的主要指标有表面粗糙度、硅片的总厚度偏差(TTY)、硅片的翘曲度(Warp和硅片的亚表面损伤层厚度，这些指标是硅片最后分级(优等品、合格品和不合格品)的主要依据。硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系中加工质量(Q)包含的内容如图2-8所示。

       分析硅碳棒多线线锯工艺流程与加工效率(T)、加工成本(C)、资源消耗(R)、能源消耗(N)和社会效益(S)之间的关系，得到硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系下加工效率评价、加工成本评价、资源消耗评价、能源消耗评价和社会效率评价。硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系如图2-9所示。

硅碳棒多线线锯绿色制造决策目标。

       硅碳棒多线线锯绿色工艺目标就是从工步Steel(确定多线切割种类)到工步Step9(取片)结束，在光伏硅片切片工艺阶段，选择合适的工艺要素和工艺参数使线锯过程中硅片的加工质量(Q)最好、单位硅片加工效率(T)最高、单位硅片的加工成本(C)最低、单位硅片资源消耗(R)最少、单位硅片能源消耗(N)最省、单位硅片环境影响(E)最小和社会效益(S)最优。建立硅碳棒多线线锯评价体系的目的是为了获得全面、准确的绿色工艺评价指标，从而为硅碳棒多线线锯绿色工艺评价和绿色工艺参数优化奠定基础。

       硅碳棒多线线锯绿色工艺评价基础来源于绿色制造决策目标，即在硅碳棒多线线锯工艺过程中，所加工的硅片质量最优、成本最省、效率最高、资源利用率最高、能源结构最合理，同时环境影响最小、社会满意度最高。绿色工艺评价值与多线线锯工艺要素(参数)密切相关。它们的对应关系是由离散的工艺要素(参数)集合与对应评价值组成的集合。硅碳棒多线线锯绿色工艺评价采用综合评价方法对备选工艺方案集进行分析、计算、排序，最终确定硅碳棒多线线锯绿色工艺评价值最高的工艺要素(参数)组合。评价值越大，表明该工艺方案的绿色度最好。工艺要素(参数)与对绿色工艺评价值是离散映射集合，把工艺要素(参数)集合的离散问题转化为在工艺要素(参数)连续取值范围内通过拟合最优数学模型是求解硅碳棒多线线锯绿色工艺要素(参数)最优解的关键。

       硅碳棒多线线锯切片工艺流程为:Step 1确定多线切割种类、Step2更换放线轮、Step3准备线网与切割预备、Step4装载硅碳棒、Steps热机、Step6多线线锯Step7移除旧线、Step8冷却棒、Step9取片。多线线锯工艺流程中，首先确定线锯种类，采用游离砂浆还是固结金刚石多线线锯硅碳棒;更换收放线轮时，选择合适直径的钢线;在准备线网和切割预备时，设定走线速度、进给速度和利用张力控制系统调整钢线张力;多线线锯时，走线速度、进给速度和钢线张力直接影响线锯工艺过程和硅片加工质量。硅碳棒多线线锯切片工艺与工艺参数相互影响如表2-4所示。线锯种类、线锯速度、工件进给速度、钢线张力和钢线直径为硅碳棒多线线锯过程中的关键工艺参数。www.zbqunqiang.cn