采用多线线锯设备JKEDMS-500对156 X 156 X 500标准硅碳棒方棒进行多线线锯，在系统界面分别设定5种不同关键工艺参数组合(走线速度、钢线张力和进给速度)，线锯后得到JK-121O1A-JK-121-OSA共5种不同的多晶硅碳棒，如图3-3所示。从线锯后硅碳棒表面来看，JK-121-O1A-JK-121-OSA均有少量污渍，其中JK-121-02A最少。由于线锯时关键加工工艺参数的不同，它们包含于质量、成本、时间、能源、资源、环境和社会等属性下的内容也会不同。

    JK-121-O1A-JK-121-OSA采用5种不同关键工艺参数得到的标准多晶硅碳棒的评价指标出片率W、硅碳棒厚度qa、单位产品总的生产成本c!、每千片硅碳棒生产耗费的时间t、硅碳棒单片耗硅量能源利用效率m、废水排放量e,COD排放量。和用户满意度、了的数据如表3-6所示。

    对表3-6中的评价指标数据进行标准化处理，由章节3.4.1可知，评价指标出片率W、能源利用效率m、用户满意度s、硅碳棒厚度qa属于效益性指标;单位产品总的生产成本c!、硅碳棒单片耗硅量、每千片硅碳棒生产耗费的时间t、硅碳棒厚度qa、废水排放量e与COD排放量e:属于成本型指标。其中用户满意度s为定性指标，需要参照表3-5进行定量化。取表3-6中出片率W、硅碳棒厚度等前8项定量评价指标的原始数据，对定性指标用户满意度、了定量化，得到JK-121-O1A--JK-121-OSA标准156X156多晶硅碳棒绿色工艺评价指标向量O。

    在标准化矩阵R中，每一行代表采用一种关键工艺参数组合对硅碳棒进行多线线锯获得的绿色工艺评价指标值，该数值综合考虑质量、成本、时间、能源、资源、环境和社会因素;每一列代表不同关键工艺参数组合在某一项评价指标下的评价值。对绿色工艺评价矩阵进行标准化是开展硅碳棒多线线锯绿色工艺评价的基础，第4章将研究如何对标准化矩阵R选择合理的指标项加权方法和综合评价方法，对JK-121-O1A-JK-121-OSA标准156X156多晶硅碳棒多线线锯工艺过程进行绿色工艺评价和“绿色度”排序。www.zbqunqiang.cn