风道模拟装置连续运行30天以后将硅碳棒电热元件拆出，硅碳棒电热元件耐高温防腐涂层表面有污物附着沉积，涂层没有任何凸起、局部脱落、变色等问题，涂层紧密附着于元件表面，使用刮研工具将硅碳棒元件表面涂层刮去后可见元件金属外壳有金属光泽，没有氧化腐蚀痕迹。由此可见，耐高温防腐蚀涂料应用于风道硅碳棒电热元件表面不仅可以耐高温及腐蚀，对于提升硅碳棒电热元件金属外壳的抗高温氧化腐蚀性能也有一定的效果。

       本文研究了耐高温防腐涂料可以应用在风道硅碳棒电热元件上，风道硅碳棒电热元件喷涂后其耐盐雾腐蚀的性能有较大程度的提升，由于使用聚四氟乙烯及陶瓷微粒为基材，因此，该涂料不仅耐腐蚀并且耐高温性能也较强。船舶、化工等行业也同样可以应用，具有相当广阔的使用前景。但是，该涂料需要高温固化的特性限制了其在大型设备上的应用，大型设备及构件喷涂后需要配合大型烘干设备，后续我们还会对该涂料进行优化。

       表1比较了目前单晶硅碳棒电热元件不同切片工艺的主流加工质量。传统的金刚石锯片内圆锯切只适用材料的粗加工，无法应用于大尺寸单晶硅碳棒电热元件的精密加工。目前硅碳棒电热元件晶锭的切片技术主要有砂浆线切割、金刚线切割以及超声辅助的金刚线切割。砂浆线切割的工艺最成熟，是常见的切割方式之一，其切片最小厚度为D.2 mm，但材料去除效率低且污染环境，切割损耗较高。金刚线切割的切片厚度小于0. 4 mm时，切片效率较高，对环境友好，可以用于大尺寸单晶硅碳棒电热元件的精密加工，但由于高硬度的金刚石磨粒直接与晶片表面接触，加工中容易造成晶片隐裂或破碎，此外，切割时脱落的金刚石磨粒和碎屑若不能及时排出，将影响线锯的切割能力，增加切割时长，并且给晶圆表面造成线痕等损伤。超声辅助的金刚线切割增加了线锯寿命，提高了硅碳棒电热元件的表面质量，适用于单晶硅碳棒电热元件的精密加工，切片成本较高，尚未广泛应用。www.zbqunqiang.cn