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硅碳棒可以分为单晶和多晶两种

2024-04-01 17:30:13     点击:

       硅碳棒可以分为单晶和多晶两种,单晶硅碳棒是指整个晶棒是一块原子排列整齐的单晶体,其表面光滑,有明显的棱线。多晶硅碳棒表面有明显的晶界,没有棱线。单晶硅碳棒与单晶硅碳棒没有本质区别,生产工艺也一样。而在生产多晶硅碳棒时,需要在放肩阶段,通过温度、晶转等参数的扰动,让棱线消失。

       单晶棒、多晶棒切割出来的硅芯对多晶硅生产没有影响,但是单晶棒和多晶棒在拉制过程中差别较大。具体表现在,单晶硅碳棒对硅料纯度、杂质含量、温度控制极为敏感,任何异常的波动都容易导致断棱。即硅碳棒上半部分为单晶体,下半部分为多晶体,俗称断棱棒。反之,如果整根硅碳棒从头到尾都有棱线,则称为整棒。断棱棒对于硅芯生产是致命的,因为单晶在断棱过程中会产生统一的位错面,切割后硅芯会统一在位错面断开,导致整根硅碳棒报废,没有产出。因此,生产单晶硅碳棒对整棒率要求很高,一旦整棒率过低,成本会迅速增加。而多晶棒从一开始就没有棱线,不存在以上问题。但是,多晶硅碳棒必须控制晶体生长速度,俗称拉速,不能过快,否则容易出现隐裂,也会导致硅芯断开、产出降低,但一般不会出现整棒报废。而单晶硅碳棒,原子排列整齐,拉速比较快,只要确保为整棒,生产成本较多晶硅碳棒低。但由于单晶对整棒率要求较为苛刻,综合考量两种因素以后,大部分企业选择都生产多晶硅碳棒。http://www.zbqunqiang.cn/

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