方案之三:若烧制的产品尺寸较小同时又希望一次烧制较多的制品，如果采用大尺寸炉膛，则堆放在中部的制品因下能受到直接热辐射，升温将明显滞后，从而失去产品的统一性。针对这种情形，要跳出硅碳棒只能沿炉膛边沿排列的思维方式，采用平行多行列式排列或‘田’字型排列，将制品与硅碳棒间隔布置，即可有效解决大炉膛内温度下均匀的问题、事实上，采用该方案的电炉也有人尝试过，实践证明是行之有效的。

       以上3种方案均可有效改善炉膛内的温度分布，根据实际需要可采用一种或多种方案同时使用，定能收到良好的效果。改造炉体是比较麻烦的工作，相当于按新方案重新制造。

       钟罩式、硅碳棒平行多行列式或“田”字型排列式大家已认识到其优点。而底部带夹层的炉体还没有被充分认识，如果把这种底部设置夹层的思路用到上述三种形式上，在炉体底部(即炉门)上安装夹层和发热元件，就可能更有效地解决电炉下部温度偏低的情况，从而提高炉膛内空间的利用率。

       为分解炉内的传质以及化学反应状况。硅烷由下部人口进人，随即迅速与炉中由硅烷分解产生的氢气混合。其中，一部分硅烷由于湍流和扩散的作用，有机会到达硅碳棒表面，在硅碳棒表面发生异相反应，沉积硅;另一部分未与硅碳棒表面接触，如果它的浓度和所处的温度高到一定程度，则发生均相反应，形成粉末;其余未分解部分最后随尾气排出。

计算模型

       依据以上描述，建立起硅烷热分解反应的控制方程的稳态形式:

       连续性方程:

       其中，P为密度，p为压力，为速度，E为能量，为扩散通量，h:为烩,R为源相，Y为质量分数，k为热量流量。另外，对于分解炉内的气相流动采用K一。模型，辐射情况采用DO模型，化学反应模型采用有限速率模型。

化学反应模型

       硅烷热分解反应的总体模型早在确定:SiH4 -Si十2Hz本文中所涉及到的硅烷热分解模型包含总体均相反应和总体异相反应，最早的均相反应和异相反应的整体模型是由研究得出上式中分别表示均相反应速率和均相反应常数，分别表示异相反应速率和异相反应常数。文献中说明，依照此异相反应速率方程(9)所计算得到的沉积速率与实验数据在量上相符合，而依照此均相反应速率方程(8)计算所得的硅粉的量会高于实际实验的结果，但是在质的趋势上与实验数据相符合，本文利用此反应方程模拟的结果与实际经验和文献中的实验结果相对照亦与此结论相符。

单参数变动试验设计

       针对直径1. 45 m，高度1. 8  m的分解炉，利用表1硅烷分解工艺参数优化组合上述的计算方法，结合正交试验设计方法，可以得到渗数硅碳棒温度凡一炉内庄力/MPa烷流量/<kg/h>表1中的优化参数，然后分别单独变化硅碳棒温度、炉数值700内压力和硅烷流量进行单参数变化分析。依据表2中指标评价工艺特性。http://www.zbqunqiang.cn/