新型拉晶炉硅碳棒的优势主要体现
综上所述,新型拉晶炉硅碳棒的优势主要体现在:
1)与传统区熔法拉晶炉硅碳棒相比,新型拉晶炉硅碳棒操作简单;2)新型拉晶炉硅碳棒对于硅芯的弯曲度可控,可降低因硅芯弯曲度而造成的还原炉在运行过程中的倒炉;3)新型拉晶炉硅碳棒拉制的硅碳棒切割成的方硅芯比圆硅芯相对表面积大,表面附着力强,沉积层与切割的方硅芯结合密实,沉积层不易分区,避免“菜花料”等不致密料产出;4)传统区熔法拉制圆硅芯的横梁、桥都是放置在开槽中的,接触面积小,高压击穿或大气流通过时易跌落而导致倒炉,而新型拉晶炉硅碳棒拉制硅碳棒后切割方硅芯相对可靠,倒炉率大幅下降;5)新型拉晶炉硅碳棒拉制硅碳棒后切割的硅芯数量远大于传统区熔法拉晶炉硅碳棒和普通的直拉法拉晶炉硅碳棒;6)使用新型拉晶炉硅碳棒拉制硅碳棒后切割的硅芯,无需单独生产制造硅芯横梁、桥的基材,提高了生产效率。
新型拉晶炉硅碳棒拉制硅碳棒后切割方硅芯时存在的不足包括:1)工艺复杂,易造成硅芯折断;2)该技术近几年仅在国内使用,技术相对缺乏;3)所需割线量大,成本高。
总体而言,目前市场上硅片价格下探,硅料利润压缩甚至亏损,迫使越来越多的晶体硅厂家通过提高晶体拉速、增大晶体直径、增加装料量的方式来压缩成本,拉晶炉硅碳棒的型号也由120型、140型取代原来的80型、90型,热场也从20",22",增至26",28“甚至32"。
本文将采用直拉法的新型拉晶炉硅碳棒与传统拉晶炉硅碳棒进行性能对比后发现,新型拉晶炉硅碳棒切割的方硅芯在硅芯直径、硅芯数量及硅芯长度方面,均大于其他两种传统拉晶炉硅碳棒。虽近年来国内切害方硅芯的技术相对缺乏,但依托单晶直拉技术的进步,该种新型拉晶炉硅碳棒在硅芯制备中的应用将越来越广泛。http://www.zbqunqiang.cn/
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