现采用新的加热方法:不用氢氧焰，而是采用硅碳棒做加热元件的高温电炉来做热源，实验的系统如图1(a)所示流量控制采用质量流量控制器.精确调节控制反应物原料气体的流量从而控制沉积层的物质浓度和厚度，形成预期的折射率剖面形状，硅碳棒电炉由程序来控制升温过程，炉内的温度近似认为按预先设计好的升温曲线来变化，如图1(b)所示.石英反应管在电炉内的温度近似认为与电炉温度相同反应生成的尾气(包括未完全反应的原料气体、反应产物气体及5i0,粉末等)用水进行处理在处理时中和和吸收一些后，再排放到空气中。