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杂质对等直径硅碳棒的使用温度和寿命影响

2021-02-28 09:43:08     点击:

    取国内某公司生产的等直径硅碳棒,分别安装在空气气氛和氮气气氛(So(NZ)=99:999%)电炉中,在1500℃保温3h后停炉,自然冷却至室温,完成一个炉次的使用。分别重复使用100炉和5炉后,取下等直径硅碳棒,用X射线衍射仪(Cu靶,Ka辐射)分析等直径硅碳棒的物相组成,用扫描电子显微镜观察等直径硅碳棒的显微结构,并用能谱分析仪进行微区元素分析。在空气气氛使用后的情况在空气气氛中使用100炉后等直径硅碳棒的外观及断口照片见图1。可以看出:等直径硅碳棒已变得粗细不均,表面被玻璃膜覆盖,并且表面凹凸不平;但等直径硅碳棒断口致密,结构均匀。在空气气氛中使用时,等直径硅碳棒表面的MoSi:氧化形成玻璃保护膜,阻止氧气进一步向内扩展;即使保护膜因某种原因破裂或脱落,也会在破裂或脱落处再次自动生成。但在高温长时间使用过程中,Slz玻璃相会以S10气体的形式挥发在发热元件表面产生气泡;在冷却过程中,气泡破裂、脱落而形成凹坑;随着加热一冷却循环次数的增多,发热元件逐渐变得粗细不均,表面凹凸不平,电阻率也发生变化,最终因局部过热而损毁。在空气气氛使川后等直径硅碳棒的XRD图谱示于图2V可以看出,其主晶相为MoSi,,还有少城Mo5Si;MoSSi,可能是少量MoSi2tj0:发生f式(1)的反应而生成的:5MoSi,(s)+70(g)—Mo5Si;(s)+7Si0(s)。(1)在空气气氛使用后等直径硅碳棒表面和断口的SEM照片见图3、山图3(a)可以看出,等直径硅碳棒表面有一层玻璃膜;图3(t>)看出,玻璃膜结构致密;由图3(c)看出,等直径硅碳棒内部有较多细小气孔;由图3(d)和表1可知,4ikl棒存在杂质相A1Z03(多存在孔中)和MoSSi,(Jfl色物质),且越靠近表面Mo5Si、的最越多。MoSSi,可能是制备过程中引人的,高温使用过程中也可能有少鼓生成。结构不致密以及存在杂质均对等直径硅碳棒的使用温度和使用寿命产生负面影响。

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