用下点弯曲试验测试硅碳棒二次成膜处理和L 30(1℃保温100 h条件下未脱Na和脱Na试样的弯曲强度，跨距为30 mm.采取四点弯曲方法测试两种试样的高温蠕变特性，内外跨距分别为10~和30 mm.将二次成膜后的两种试样插人石英玻璃管中加热至1 006 :保温506 h，考查对其失透特性的影响.为了评价Na含量对材料寿命的影响，本文将脱Na前后的两种试样加工成与实际使用结构相同的小型硅碳棒，在不同温度下进行了高负荷耐久性试验，用其所能够承受的热履历次数表征其使用寿命.a.><石英玻璃管失透现象制造半导体材料的热处理装置如图1所示.待处理样品放在石英玻璃质的管中，该玻璃管形成一个可以通人各种气氛的密闭空间，热量是通过玻璃管辐射到样品上对样品进行加热的，因此玻璃管必须保持透明状态.图2给出了脱Na前后二硅化钥硅碳棒对石英玻璃管透明特性的影响由图2可以看出，在1 000℃保温500 h试验后，未脱Na条件下玻璃管发生失透现象，而脱Na条件下玻璃管仍然是透明的.这是因为未脱Na硅碳棒中2.2抗弯强度和韦伯模f表1给出了两种试样的抗弯强度。分别表示试样的最大、最小和平均抗弯强度)和韦伯模量(间，其中脱Na试样经过二次成膜处理，未脱Na试样经过与脱Na试样二次成膜处理条件相同(1 SDO℃保2 min)的成膜处理，从表1可以看出，两种试样的弯曲强度和韦伯模量基本上处在同一水平.但是，将两种试样在1 300℃处理100 h后，脱Na试样的弯曲强度和韦伯模量明显高于未脱 Na试样(表2)。www.zbqunqiang.cn