如图3所示，硅碳棒经1 300℃处理100 h后，未脱Na试样表面出现一些白色斑点，这些白色斑点是在Na组分自试样内部向外挥发过程中形成的富Na区域，其结构较疏松，并往往存在有微小孔洞.白色斑点作为表面缺陷.严重损害了保护膜的完整性，导致材料的弯曲强度大幅度下降.高温蟋变特性图4是未脱Na和脱Na试样的蠕变曲线，测温度为1 000,载荷100 MPa由图4可以看出，在该条件下脱Na试样的蠕变速率明显较低，经估未脱Na和脱Na试样的稳态应变速率分别为4.72x10`Is-，和1.94x l0ls.这是因为，添加的粘土在材料中主要以玻璃相形式分布在晶界上，高的N。含量降低了玻璃相的软化点，同样温度下未脱N$材料中玻璃相的粘度必然较低，而高温下晶界玻璃相粘度的高低是控制材料蠕变速率的关键因素，晶界粘度越低蠕变速率越快，因此未脱Na试样的蠕变速率明显高于脱Na试样在前述研究的基础上，利用实验检验了两种材料制成的硅碳棒的耐久性.分别以正常使用时1.5,2.0,2.3倍的负荷将硅碳棒升温至1 400 , 1 500,1 600 `C通电45 s后断电，45、后再通电.如此反复，直至损坏，用其所能够承受的热反复次数表征其使用寿命，结果列于表3‘从表3可以看出，1 400℃时二者的耐久性相差无几.随着温度的升高，未脱Na试样的耐久性急剧恶化，而脱Na试样的耐久性下降相对缓慢.可见采用脱Na工艺可大大地提高材料的耐久性寿命-

    (1)对半导体材料热处理装置用MaSiloxide硅碳棒进行真空脱Na处理，较好地避免了石英玻璃管的失透问题;

    (2)真空脱Na处理改善了MoSiloxide硅碳棒材料的弯曲强度和高温蠕变特性;

    (3)真空脱Na处理提高了MoSiloxide硅碳棒的使用寿命.www.zbqunqiang.cn