硅碳棒电加热式尾气处理原理在微化学工艺中会用到两大类工业超纯气体，其一为大宗气体如氢气、氧气、氢气、氮气、氦气。其二为特气如硅烷、磷烷、砷烷、氨气等。根据相关环境标准，有些大宗气体是可以直接排放在大气中的。但特气是不可以直接排放在大气中的，因这类气体是有毒、有害的。如硅烷遇到空气会自然并产生霆状颗粒，动物和人呼吸后会损伤呼吸系统。

    在尾气排放大气之前要对部分成分做去除处理。方法很多，电加热分解处理法是其中一种方法。以硅烷为例:超纯级硅烷是生产外延型和薄膜淀积型高纯硅的原料。也可用于生产高纯度的硅氧化物。硅烷是一种强还原剂，室温下与氯或嗅的卤化反应可达到激烈爆炸的程度。约400℃时，硅烷开始分解为硅和氢。温度超过600℃时，分解将快速进行。

    为此我们将待处理的硅烷通过由电硅碳棒组成的高热腔体，并衡定高热腔体的温度。这样硅烷将会因超过分解温度而快速分解成硅和氢。同时我们向高热腔体内供给一定量的氧气将会出现硅与氧和氢和氧化学反应，最终会生成固体二氧化硅和水。这样将达到了去除有害物质的目的。www.zbqunqiang.cn