相对于外圆切割的圆形硅碳棒或硅锭。内圆切割由于其刀片韧性较大，可以用来切割较大直径但是内圆切割时材料表面损伤较大、切缝较宽、切割效率不高，仅适用小批量生产。多线切割，也称“线锯”，一般是采用一根表面镀铜的不锈钢钢丝，直径通常为80-200m，经过多组线轮，连接放线轮和收线轮。加工室里的轮轴有两轴、三轴和四轴等，钢线通常保持20-30 N的张紧力，在切割室形成一排密集的多线线网，在主动轮的带动下以5-15 m/s的速度间歇往复运动，将含有粒度约10-25 }m的SiC或金刚石磨料的浆料带入硅碳棒切割区域，磨料滚压嵌入材料表面形成三体磨料磨损进行切割。经线锯加工后硅片表面翘曲度(WARP、弯曲度(BOW)、总厚度公差(TTY)和切缝损失均较小，而且平行度(TAPER较好、表面损伤层较浅。多线切割技术研究主要集中在切割机理、切割时振动控制、切割方向调整、张力恒定控制、切割温度控制等方面，它已成为直径大于200 mm脆硬材料切割的主流技术，切缝损失普遍集中在150-210 }m，切片后硅片厚度通常可以达到100-200 }m，损伤层深度一般为15-25 m，但加工后材料的表面会留下明显的线痕。为了提高加工精度和加工效率，常采用电镀工艺或树脂结合的方法，将金刚石磨料固定在钢线上，利用固结金刚石磨粒的钢线通过间歇式往复运动对硅碳棒等脆硬材料进行切割。

    游离砂浆多线线锯技术克服了内圆切割和外圆切割的不足，切割硅碳棒的尺寸更大，切缝更窄，材料耗损更小，避免了因刀具本身崩片产生的不良加工现象，采用游离磨料切片后，硅片表面质量相对稳定。但是从硅碳棒去除机理上考虑，由于游离磨料多线切割依靠砂浆中混有的金刚石颗粒的滚压钎入作用进行切割，金刚石颗粒划过硅片表面时容易产生裂纹，硅片表面容易产生残余应力和较深的相变层，残余应力会导致切割后硅片自身的翘曲变形，需要后续加工修整，材料加工表面质量难以控制。固结金刚石颗粒的多线线锯技术解决了游离砂浆多线线锯产生的表面质量不稳定现象，它已成为硬脆材料切割的主流加工方式。www.zbqunqiang.cn