家标准、针对当前硅碳棒绿色制造体系中对具体绿色工艺评价体系的不确定性以及国企业标准中关于绿色工艺评价方法的不完整性，论文基于硅碳棒多线线锯切片工艺，建立硅碳棒多线线锯工艺硅碳棒绿色制造评价体系。在多线线锯多晶硅碳棒获得光伏硅片工艺过程中，从线网准备工序开始，直至取片工序结束，分析了硅碳棒多线线锯工艺过程中每一工步在环境影响、加工质量、加工成本、资源消耗、能源消耗、加工效率和社会效益等7个属性上包含的具体内容，建立硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系。

       在硅碳棒多线线锯绿色工艺评价体系的基础上，按照选取评价指标的系统性、典型性、差异性、一致性和可操行性原则，以硅碳棒绿色制造为理论基础，分析硅碳棒绿色制造决策目标在多线线锯硅碳棒工艺过程每一工步上包含的详细内容，由此确定硅碳棒多线线锯绿色工艺评价指标体系包含的各项具体指标。

       根据已经确定的硅碳棒多线线锯绿色工艺评价指标，研究每项评价指标的详细定义及它们具体的计算方法。按照同趋化、非量纲化、归一化、定性指标定量化原则，采集不同关键工艺参数组合经多线线锯后所得不同批次硅片的原始工艺数据，依据每项评价指标对应的计量方法进行数据标准化处理，由此得到硅片在不同关键工艺参数组合下多线线锯时对应的绿色工艺评价矩阵。此外，为了解决不同评价指标之间的矛盾性(方向性)、不同倍性和刚性问题，采用主观评价法和客观评价法相结合的组合评价对不同批次硅片对应的多线线锯绿色工艺评价矩阵进行了综合评价。

       基于脆硬材料多线线锯去除机理，通过在多线线锯过程中对固结金刚石磨粒的钢线进行受力分析，建立多线线锯硅碳棒的力学模型。在其它工艺要素不变的情况下，锯切力直接影响多线线锯硅碳棒工艺过程。线锯模型从理论上验证影响多线线锯硅碳棒过程的关键工艺参数。研究多线线锯硅碳棒关键工艺参数的取值范围，确定正交试验方案，为采用不同关键工艺参数组合对硅碳棒进行多线线锯开展绿色工艺评价奠定基础。www.zbqunqiang.cn