相比于传统机械制造加工，硅碳棒脆硬材料的加工技术经历了外圆切割、内圆切害、游离砂浆多线线锯、固结金刚石颗粒多线线锯四个阶段。

    第一阶段:外圆切割。它是19世纪欧洲在大量生产人造金刚石时采用的主要切割方式。在对硅碳棒脆硬材料进行外圆切割时会产生强烈的振动和刺耳的噪音，特别是高速切割时，噪音值甚至超过100 dB，由此产生严重的噪音污染，切割精度不高。锯片在空载情况下自然频率和共振频率，实验结果表明，其频率与刀片的直径有关，当切割刀片的直径增大，其自然频率反而降低，被外圆切割的材料厚度通常是刀片直径的1/4}-1/3，因此适当增加刀片直径对降低共振频率和增加切割效率[97，98」。然而受外圆锯片机构的影响，刀具尺寸较大导致厚度较薄，因此刚度不高，径向承受切割硅碳棒脆硬材料的反向作用力，非常容易产生变形和侧向摆动，造成加工表面质量不高，圆棒型硅碳棒脆硬材料切割后直径也会受到限制，一般只能控制在100 mm以内，所以外圆切片机通常仅对建筑装修用的石材和路面切割的情况下使用，它并不适合硅碳棒切割。

    第二阶段:内圆切割。内圆切割是将内圆锯片张紧固定在安装架上，利用锯片内孔圆周上的金刚石颗粒作为刀具进行切割。锯片周边受到张紧力作用从而拉紧在圆周的安装架上，刀片由圆心向四周产生拉伸变形，增强了刀片本身的刚性，所以，内圆切割用的锯片厚度可适当减小，直至0.2  mm，切割时可有效减小材料的损耗。在线锯技术应用之前，内圆切割由于切割过程稳定、材料利用率高、切缝较小，表面质量较好等优点成为硅碳棒脆硬材料切割的主流加工方式。

    第三阶段:游离砂浆多线线锯。为了能一次完成多次切割过程，多线线锯技术应运而生，早期多线线锯技术就是采用游离砂浆多线线锯硅碳棒脆硬材料，它依靠砂浆中混有金刚石颗粒的滚压钎入作用进行切割，金刚石颗粒划过硅片表面时容易直接导致裂纹产生，也容易使硅片表面产生残余应力和较深的相变层，残余应力会导致切割后硅片自身的翘曲变形，需要后续加工修整，加工表面的精度也不易控制。

    第四阶段:固结金刚石颗粒多线线锯。为了改善因刀具自身影响而产生的崩边缺陷，将金刚石磨料以电镀或树脂的方式固结在特殊的钢线上，从而形成固结金刚石多线线锯技术，在光伏行业中它主要用于单晶硅、多晶硅硅碳棒，常见的工艺有硅锭的切方、硅碳棒的切片等，也可用于其它硅碳棒脆硬材料的开方和切片，如蓝宝石、石材的开方、切片、陶瓷切割等。

    有别于游离砂浆式切割，固结金刚石颗粒多线线锯技术在切削过程中线锯直径小，常见的有220 }m和180 }m，加工时切口材料损耗较小，硅片表面精度较高，工作效率更高，不使用游离砂浆，污染较小，工作环境相对清洁。www.zbqunqiang.cn