硅碳棒多线线锯工艺的绿色度V随钢线张力x在18.0000-27.8501 N之间增大的趋势较钢线张力x在27.8501-35.0000 N之间减小趋势陡峭，主要原因在于当钢线张力x越过阂值27.8501 N后，线锯硅碳棒时造成钢线振动，该现象对评价值Y的影响程度低于之前由于钢线张力x在18.0000-27.8501 N之间增加的影响程度。

       在钢线张力x和硅碳棒进给速度z为常数(以下分析取x=26.5 N, z=1.05mm/min)的情况下，钢线走线速度Y介于800.00-1055.36 m/min之间，评价值Y随钢线走线速度Y增大而增大;钢线走线速度Y介于1055.36-1200.00 m/min之间，评价值Y随钢线走线速度Y增大而减小，如图5-16所示。

       分析图5-16中曲线的变化趋势，钢线走线速度Y在阂值1055.36 m/min以下，走线速度越低，单位时间内锯切硅碳棒体积越小，造成硅片表面出现线痕等，影响评价指标出片率W、能源利用效率m、废水排放量e和COD排放量e2;对单位产品总的生产成本c,、硅片厚度ga、硅片单片耗硅量r、每千片硅片生产耗费的时间t,和用户满意度、了影响较小。

       硅碳棒多线线锯工艺的绿色度Y随钢线走线速度Y在800.00-1055.36 m/min之间增大的趋势较钢线走线速度Y在1055.36-1200.00 m/min之间减少趋势陡峭，主要原因在于当钢线走线速度Y越过阂值1055.36 m/min后，线锯硅碳棒时造成硅片表面不良，导致对评价值Y的影响程度低于之前由于钢线走线速度Y在1055.36-1200.00 m/min之间增加的影响程度。

      在钢线张力x和钢线走线速度Y为常数(以下分析取x=26.5 N, z=1000m/min)的情况下，硅碳棒进给速度z介于0.7500-1.0895 mm/min之间，评价值Y随硅碳棒进给速度z增大而增大;硅碳棒进给速度z介于1.0895-1.35 mm/min之间，评价值Y随硅碳棒进给速度z增大而减小，如图5-17所示。分析该变化趋势的原因在于:硅碳棒进给速度z在阂值1.0895 mm/min以下，进给速度越慢，线锯硅碳棒耗时增加，造成硅片线锯效率降低等，影响评价每千片硅片生产耗费的时间t,单位产品总的生产成本c,能源利用效率m、废水排放量e和COD排放量。a;对评价指标出片率W、硅片厚度qa、硅片单片耗硅量r和用户满意度s影响较小。www.zbqunqiang.cn