因此，在获得现有绿色工艺评价值和给定工艺参数之间的一组对应数据后，通过曲面拟合得到硅碳棒多线线锯绿色工艺评价值与工艺参数之间的曲面图。通过判断曲面的最高点和对低点获取最佳绿色工艺参数和对劣绿色工艺参数利用试验采集到的数据，先对JKEDM-156-1 #}-JKEDM-156-25#硅片进行多目标综合评价后，可求得JKEDM-156-1#}-JKEDM-156-25#硅片绿色工艺评价值中的最大解，其对应的工艺参数为最优绿色工艺参数。

       采用软件Design-Expert 12优化软件，建立一项新的试验方案，选择Miscellaneous选项卡下的Toguchi OA，点击Design Designation下拉框，选择L25(5入6)，同时输入各A, B, C各因子的名称，单位和实验值L，如图5-8所示。由于因子D, E和F对应表5-1中因素4、因素5和因素6，所以默认该因子对响应结果无影响。

       采用不同的工艺参数组合对同一型号的硅碳棒进行多线线锯，根据章节4.2.2采用嫡值法和TOPSIS的评价方法对硅碳棒多线线锯工艺进行绿色工艺评价，评价值即为响应值，为单一值一一Response 1，图5-9显示了不用工艺参数组合下对应的硅碳棒多线线锯绿色工艺评价值。

       设置硅碳棒多线线锯工艺参数条件，因素A代表钢线张力，取值18-35 N;因素B代表钢线的走线速度，取值800-1200 m/min;因素C代表硅碳棒进给速度，取值0.75^'1.35 mm/min;求解目标硅碳棒多线线锯绿色工艺评价值最大化，范围0.5325}-1.0000} 0.5325为图5-9中25中不同工艺参数组合下所得绿色工艺评价的最小值，1.0000为绿色工艺评价理想值，即100%。软件DesignExpert 12中。

       基于绿色制造决策目标，如何优化硅碳棒多线线锯关键工艺参数，思路如下:试验所采用的工艺参数是有限的离散的数据，这些离散的关键工艺参数组合还不足以包括限定范围内所有的数-据。因此固结金刚石颗粒多线线锯硅碳棒的最佳绿色工艺参数并不一定落在JKEDM-156-1#}-JKEDM-156-25#中，需要在关键工艺参数连续取值范围之内建立多元非线性数学模型。此外，从试验次数来看，采用田口试验法运用L25(5入6)需要25次试验，而响应曲面法(Box-Behnken)仅需采用17次试验。因此本试验主要采用响应曲面法运用软件Design-Expert 12对实际取得的数据进行曲面拟合、分析和计算，最终求解最优解一一面向绿色制造目标的硅碳棒多线线锯最佳工艺参数组合。www.zbqunqiang.cn