硅碳棒检测装置主要由耐高温定焦数字摄像头、工业计算机构成，将摄像头固定于还原炉视镜处进行连续图像采集，由工业计算机对摄像头采集的图像进行处理，通过采集图像的像素及现实的比例关系即可计算获得正对面2根硅碳棒的间距，进而计算出其他所需数据，检测装置如图1所示。

    图1多晶硅碳棒直径检测装置装置采集的图像如图2、图3所示，检测的对象即为中心2根硅碳棒的间距。图2检测装置采集的图像(硅碳棒生长早期)根据采集硅碳棒间距图像的像素值与实际距离的比例，可计算出硅碳棒间距s，进而得到硅碳棒径向生长速度v及硅碳棒直径D:式中，C为硅碳棒间距图像像素值与实际像素比例值，P为硅碳棒间距图像像素值，S为初始检测硅碳棒间距值，D。为硅碳棒初始直径(硅芯直径)}Sr2,sr，为相邻2次检测计算所得的硅碳棒间距值，爪,T，为相邻2次检测的时间。

  进一步结合加热功率、物料流量等控制参数，可计算获得瞬时电耗尸和瞬时原料转化率Q:式中，U为硅碳棒总电压，I为硅碳棒总电流，P为多晶硅密度(根据一般沉积情况取2.3-2.33cm3cm),L为硅碳棒长度，F为物料三氯氢硅流量。www.zbqunqiang.cn