导致单晶圆硅碳棒发生崩边或平行度差的问题
单晶硅碳棒在截断过程中,由于各种原因导致单晶圆硅碳棒发生崩边或平行度差的问题,严重影响了单晶圆硅碳棒的合格率。为了分析并解决该问题,探讨了单晶硅碳棒截断时发生崩边或平行度差的具体原因及应对措施。除去一般人为的操作不规范外,其中影响单晶硅碳棒截断时发生崩边或平行度差的因素主要有:夹具、锯带的切割速度及硅碳棒质量等。
太阳能是未来最清洁、安全和可靠的能源,发达国家正在把太阳能的开发利用作为能源革命的主要内容,光伏产业正日益成为国际上继IT、微电子产业之后又一爆炸式发展的行业。太阳能具有可再生和环保等方面的特点,这种优势让包括中国在内的许多国家将太阳能作为重点发展的新能源产业。近年来,由于欧美各国市场需求的增大,我国光伏产业取得了快速的发展,最近5年的年均增长速度达到40%以上。在进一步加大政策扶持力度的背景下,未来光伏产业的增长前景将更为广阔。光伏发电产业链从上游到下游,主要包括的产业链条为多晶硅料、单晶硅碳棒(多晶硅锭)、硅片、电池片以及光伏组件。
单晶硅碳棒的制造只是整个光伏产业链条中一个环节。关于单晶硅的研究,更多的侧重点是关于晶体生长缺陷、热场的模拟分析一3-a一及硅碳棒断棱的研究,对光伏企业的实际生产具有一定的指导意义。而对于单晶硅制造企业来说,更关注的实际生产中单晶硅碳棒截断发生崩边或平行度差的问题分析还鲜有报道。为了分析该现象,本文借助于生产现场的操作经验,从夹具、锯带的切割速度及硅碳棒质量等因素,讨论了硅碳棒截断发生崩边或平行度差现象的原因并给出了具体的应对措施。http://www.zbqunqiang.cn/
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