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硅碳棒的表面质量

2024-04-07 16:46:20     点击:

       采取的措施:定期对导向器铜块进行保养维护,用一段时间后要用砂纸打磨小铜块;同时要注意对锯带使用的保护,冷却水管道必须对准锯带,使其一直处于被冷却状态。

       硅碳棒表面的粗细不均匀,导致夹具与硅碳棒的接触面积减小,面接触变为了点接触,摩擦力减小,故不能保证硅碳棒的稳定性,虽然夹具已经夹得紧,但由于硅碳棒受力不均匀,所以会发生左右或向下的移动,不能保证硅碳棒与锯带垂直,故更不能确保硅碳棒端面的平行度。

       采取的措施:①提高拉晶工的拉晶水平,确保硅碳棒的表面基本保持平整,不能出现忽凸忽凹现象;②针对硅碳棒表面平整度差的硅碳棒,可以在硅碳棒直径小的地方垫一些硬塑料或小木片,使其保持水平状态或垂直于锯带,尽可能避免平行度差的现象发生。

       本文借助于生产现场的操作经验,分别从夹具、木契及锯带的切割速度等因素分析了单晶圆棒发生崩边现象的原因,并分别从夹具、导向器与锯带及硅碳棒的表面质量等因素分析了单晶圆棒发生平行度差现象的原因。结合生产实际,给出了具体的应对措施,取得了显著的效果。http://www.zbqunqiang.cn/

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