综合考虑上述各种情况，在所取的条件下，温度过低或过高硅收率均很低，温度范围在7oo-soo℃较。然而，若压力或硅烷流量不同于本文中的参考值，则较佳的温度范围会有相应的变化。压力的影响将硅碳棒温固定为loo0c，硅烷流量固定为2. 2 kg/h，压力变化05-v0. 6 MPa，考察不同压力对分解过程各个指标的影响。图7为不同压力下，硅收率、硅烷比和硅粉比的变化。当压力为0. 1 MPa时，模拟结果与实际经验相符。随着压力的增大出口硅烷比减少，同时出口硅粉比也减少，硅收率增加。因此，增大压力有利于多晶硅的生产。但是当压力增加到0. 3 MPa以后，各个指标的变化趋于稳定，由此可见，分解炉内压力在。3 MPa以后若再增大压力，对于提高硅收率，降低硅烷反应率和降低硅粉比没有太大的贡献。压力/MPa硅烷比，硅收率，硅粉比图7不同压力下的硅收率，硅烷比和硅粉比利用Fluent软件模拟钟罩式硅烷硅碳棒分解炉内同时发生的传热、传质和热化学反应过程。结果表明，增大硅烷流量能降低单位能耗，但是过大的硅烷流量会造成硅烷分解率降低，合适的硅烷流量受到分解炉尺寸的限制;在温度700-800℃和较高的压力0. 3 MPa下可以抑制气相分解，得到较高的沉积速率，从而降低能耗。

       温度梯度电炉是研究陶瓷材料烧成性能较为有用的设备之一。通常确定新的或未知的陶瓷配料烧成范围和烧成性能，需要对它们分别在不同温度下进行烧成，以确定样品的烧结性能。这是一个既费时间又繁琐的过程。而在陶瓷性能试验中又往往需要对陶瓷配料作快速测定。“梯度电炉”就是研究陶瓷材料烧成性能较为理想的设备，它不需要重复在不同温度下进行烧成，只要将陶瓷配方或原料制好试快，放入梯度硅碳棒电炉内，经过迅速的操作过程就能得到所需的大量数据。根据我所的硅碳棒温度梯度电炉综述如下:

       在角铁框架上放置一个茂福式炉体，炉体的外部尺寸为:460 x 460 x 420 (mm)，用泡沫砖作保温材料，炉膛尺寸为455 x 36x 23 (mm)热电偶位置如图一所示。角铁做的框架，面板上装有电流表、电冤表、5KVA调压器，XCT-101型动圈温度指示仪，十二组按键式测温开关。硅碳棒炉膛内两侧装有十二支测温铂姥一铂热电偶。温度梯度是由发热元件加热使中间温度高，两头炉门口温度低，硅碳棒电炉膛的结构自然散热，达到温度梯度之目的。http://www.zbqunqiang.cn/