硅碳棒新型拉晶炉的结构特点
为硅碳棒新型拉晶炉结构图,其主要由增锅、增锅轴、电极柱、侧加热器、底加热器、导流筒及保温组件等部件组成。
硅碳棒新型拉晶炉中的增锅由设置在炉体底部的增锅轴支撑,增锅的底部和两侧分别设置有底加热器和侧加热器,可在化料或工艺加工时使用。电极柱分别与底加热器及侧加热器连接,可用于支撑加热器。保温组件包括设置在炉体内壁与导流筒及增锅之间的保温筒(上筒、中筒和下筒)、设置在保温筒上方的保温盖(上盖和下盖),以及设置在保温筒下方的底盘。保温组件主要起到保温和调整温度梯度的作用。
导流筒的顶部穿设在保温盖之间,导流筒包括外筒和内筒,内筒为漏斗形,外筒的纵截面为底面开口的U形;内筒与外筒中间用孰胶软毡填充;外筒的底面开口与内筒的底面开口一致并对齐设置,且内筒的底端直接放置在外筒的底壁上方;内筒与外筒的上部均通过定位环固定。内筒的漏斗形设计可有效抑制炉体上部的氢气流动旋涡,进而减少炉内挥发物的沉积;外筒的U形设计及内、外筒之间的孰胶软毡,可减少加热器对晶体的热辐射和热传导,并加快成晶速率。
保温筒包括依次连接的上筒、中筒和下筒,其中,上筒与中筒通过支撑环连接;上筒、中筒及下筒的外围皆设置有用于保温的孰胶软毡。http://www.zbqunqiang.cn/
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