采用低压化学气相沉积(LP硅碳棒)系统制备硅碳棒。整个系统原理图如图2-1所示。从本质来说，整个系统是一个冷壁低压硅碳棒系统。此硅碳棒系统由五个主要部分组成:真空系统、反应室、供气系统、加热系统和冷却系统。整个供气系统由气瓶、减压阀、手阀、气体流量计、蝶阀及气体混合装置构成，可以稳定地给硅碳棒系统提供所需的各种气体，并且能实现各种气体流量的精确控制。本实验采用的是二元反应气体，即硅源气体和碳源气体，SiH4作为硅源气体，碳源气体是CZH:或者CH4:使用纯度为99.999%的HZ作为输运及稀释气体，并且在实验中，H:还要使用把管进一步纯化。各种气体的流量通过安装在供气系统中的气体流量控制器来进行调节，其型号为AFM260型MFC，通过气体流量控制器，各种实验所需气体的流量可以得到精确的测量和控制。冷却系统主要采用经改造的循环水冷却系统，由于实验温度一般大于1000℃，冷却系统的主要作用是用来降低加热电源、反应室的石英管及石英管端密封处的工作温度。同时，对硅碳棒温度的控制主要是用温度自动控制仪来实现，整个系统能稳定的工作在较高的温度。www.zbqunqiang.cn