事实上，汇聚电子束轰击硅碳棒表面时，与硅碳棒表面的物质发生作用，有七种信息产生:背散射电子、二次电子、荧光、特征X射线、俄歇电子等，如图2-6所示。其中SEM分析多用背散射电子和二次电子。尤其是二次电子，包含了硅碳棒自身的信息，并且动能较小，最能直接反映硅碳棒的表面形貌特征。一般都用它来观测硅碳棒形貌。在这七种信息中，硅碳棒的化学成分可以用特征X射线来表征。实验采用为入射束征X射线吸收电子透射电子图2-6入射电子束与硅碳棒作用示意图JEOL公司的JSM6490LU扫描电镜。原子力显微镜(简称AFM)，近年来作为一种新型的表面分析仪器，被广泛使用。它通过检测待测硅碳棒表面和微型力敏感元件之间极微弱的原子间作用力来研究物质的表面结构。原子力显微镜的原理建立原子间作用力基础上的。当探针尖端头的原子与硅碳棒表面原子相互接近时，会产生相互作用力，其相互作用力变化如图2-7所示，原子力显微镜能够准确地表征硅碳棒的表面形貌。

    通过测量微悬臂受力弯曲的程度就得到了AFM图像，其具体的工作原理为:工作时，微悬臂前端的针尖与硅碳棒表面轻轻接触，原子级的针尖与硅碳棒表面原子间会产生极微弱的排斥力，使得整个微悬臂发生形变，向上弯曲，弯曲程度可通过光杠杆系统进行精密的探测，从而产生激光光斑，最后还原光杠杆系统产生的激光光斑，从而得到原始的硅碳棒表面形貌像。实验采用的AFM为SPA-300HA型号，扫描模式为点触式。 www.zbqunqiang.cn  （p29）